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产品中心
Product Center
显微扫描激光测振仪LV-SC400-M
显微扫描激光测振仪LV-SC400-M是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。
- 产品参数
显微扫描激光测振仪LV-SC400-M是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。
产品介绍
显微扫描激光测振仪LV-SC400-M是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。
特点
1.非接触测量，无负载；
2.激光光斑极小，微米级；
3.优越的带宽和动态范围；
4.高空间分辨率；
5.工作距离可选；
6.高灵活性、易安装、易操作；
7.振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高；
应用领域
微机电系统（MEMS）动态测试
生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
技术参数
|
显微激光测振仪LV-SC400-M光学头参数 |
|
|
尺寸（L*W*H） |
470×225×126mm |
|
重量 |
12.5kg |
|
聚焦方式 |
固定聚焦 |
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激光波长 |
He-Ne laser 632.8nm |
|
激光功率 |
＜2mW |
|
工作距离 |
7.9mm-19.5mm（配备不同倍率物镜；取决使用何种物镜） |
|
扫描角度（V x H） |
4° x 4° |
|
扫描参数 |
角分辨率＜0.001°，角度稳定性＜0.001°/h，***30点/s |
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显微激光测振仪LV-P01-M控制箱参数 |
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|
尺寸（L*W*H） |
450×421×149mm |
|
重量 |
11kg |
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测量速度MAX |
±12m/s |
|
输出电压范围 |
±10V |
|
频率范围 |
DC～3MHz 30kHz～25MHz |
|
滤波设置 |
高通、低通滤波，跟踪滤波 |
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线性误差 |
＜±1% |
|
速度分辨率 |
优于0.001μm/s/√Hz |
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位移分辨率 |
优于0.31pm |
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模拟输出 |
BNC接口输出 |
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数字输出 |
RJ45千兆以太网口 |
|
低通滤波器 |
500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz, 320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器) |
|
跟踪滤波器（选配） |
Slow，Medium， Fast，Off |
|
信号电平显示 |
反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V） |
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显示 |
带交互式菜单引导设置的彩色屏 |
|
工作温度 |
+3 °C … +45 °C |
|
存储温度 |
-10 °C … +65 °C |
|
相对湿度 |
<90% |
|
供电电源 |
100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz |
|
防护等级 |
IP54 |
*产品性能及参数可定制化，接受集成及非标定制
*产品彩页仅做参考，不做任何评判标准
|
常用物镜 |
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|
物镜型号 |
倍率 |
数值孔径（NA） |
测量距离（WD） |
焦点直径 |
视场（长*宽） |
|
MPlanFL5X BD |
5X |
0.15 |
13.5mm |
4.8μm |
1.50*1.10mm |
|
MPlanFL10X BD |
10X |
0.3 |
9mm |
2.9μm |
0.74*0.55mm |
|
MPlanFL20X BD |
20X |
0.45 |
3.4mm |
1.5μm |
0.37*0.28mm |
|
LMPlan50X |
50X |
0.55 |
7.8mm |
1.1μm |
0.15*0.10mm |
*可根据客户需求配置长工作距物镜
|
常用解码器 |
|||||
|
速度解码卡 |
描述 |
带宽 |
量程档位 |
测量速度MAX |
速度分辨率MAX |
|
VS-03 |
中频速度解码器 |
0-50kHz |
3 |
±500mm/s |
0.1μm/s/√Hz |
|
VD21 |
宽带数字速度解码器 |
0-3MHz |
21 |
±12m/s |
0.001μm/s/√Hz |
|
位移解码卡 |
描述 |
带宽 |
量程档位 |
测量速位移MAX |
位移分辨率 |
|
DD32 |
宽带数字位移解码器 |
0-3MHz |
32 |
±2m |
0.31pm |
|
DD-25M |
超宽带数字位移解码器 |
30kHz-25MHz |
16 |
±500μm |
0.31pm |
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