LV-SC400M-3D三维显微扫描激光测振仪，配备显微扫描模块，激光光斑可达微米量级，可实现多点显微扫描测量，快速完成多点显微模态振型测量，是一款全新的集多功能于一体的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化测量、分析理想工具。配备频闪分析模块，实现面内振动测量。可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、位移、模态等信息），设备抗干扰性强，具有极高的分辨率，还可以进行ODS以及模态分析。

产品参数

产品详情

产品介绍

特点

●非接触式测量技术实现微小待测物速度、位移、加速度以及振动频率的数据测量；
●激光光斑极小，微米级；
●根据客户需求配置不同工作距离的物镜选择；
●配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置；
●优越的带宽和动态范围；
●超高光学灵敏度，超低噪声；
●高空间分辨率；
●配备显微扫描模块，快速完成多点显微模态振型测量；
●配备频闪振动分析模块，实现面内振动测量

应用领域

技术参数

面外振动测量
激光波长	He-Ne laser 632.8nm
激光功率	＜2mW
机械接口	M5螺纹(固定在特定支架上)
扫描角度(VxH)	4°x4°
扫描参数	角分辨率<0.001°，角度稳定性<0.001°/h，***30点/秒
测量速度MAX	±12m/s
测量位移MAX	±50mm
频率范围	DC～3MHz 30kHz～25MHz（选配高频解码器)
滤波设置	高通、低通滤波，跟踪滤波
***误差	＜±1%
速度分辨率	优于0.001μm/s/√Hz
位移分辨率	优于0.31pm
模拟输出	BNC接口输出
数字输出	RJ45千兆以太网口
低通滤波器	500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz,320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器)
跟踪滤波器（选配）	Slow，Medium， Fast，Off
信号电平显示	反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V）
显示	带交互式菜单引导设置的彩色屏
工作温度	+3 °C … +45 °C
存储温度	-10 °C … +65 °C
相对湿度	<90%
供电电源	100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz
防护等级	IP54
面内振动测量
频率测量范围	1Hz-2.5MHz
***速度	10 m/s
位移分辨率	5 nm
时间分辨率	100ns (频闪曝光时间)
频闪***间隔时间	±40 ns

*产品性能及参数可定制化，接受集成及非标定制

物镜型号	倍率	数值孔径（NA）	测量距离（WD）	焦点直径	视场（长*宽）
MPlanFL5X BD	5X	0.15	13.5mm	4.8μm	1.50*1.10mm
MPlanFL10X BD	10X	0.3	9mm	2.9μm	0.74*0.55mm
MPlanFL20X BD	20X	0.45	3.4mm	1.5μm	0.37*0.28mm
LMPlan50X	50X	0.55	7.8mm	1.1μm	0.15*0.10mm

注：可根据客户需求配置其他倍率长工作距物镜

常用解码器
速度解码器	描述	频率范围	量程	速度范围	速度分辨率
VSM-03	中频速度解码器	0-50kHz	3	±500mm/s	0.1μm/s/√Hz
VDM-21	宽带数字速度解码器	0-3MHz	21	±12m/s	0.001μm/s/√Hz
位移解码器	描述	带宽	量程	位移范围	位移分辨率
DDM-32	宽带数字位移解码器	0-3MHz	32	±2m	0.31pm
DDM-25M	超宽带数字位移解码器	30kHz-25MHz	16	±500μm	0.31pm