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SR系列大靶面长焦变倍显微镜

    SR系列大靶面长焦变倍显微镜,面向工业视觉检测与精密测量,兼容大靶面相机,带来更大视野、更长工作距离和更高变倍覆盖。系统兼顾中心与边缘成像质量,适合电子元件、半导体、微结构、材料表面等高精度观察检测场景。

  • 产品参数

    SR系列大靶面长焦变倍显微镜,面向工业视觉检测与精密测量,兼容大靶面相机,带来更大视野、更长工作距离和更高变倍覆盖。系统兼顾中心与边缘成像质量,适合电子元件、半导体、微结构、材料表面等高精度观察检测场景。

全新体验

SR超分辨率变倍系列

慕藤光SR超分辨率变倍系列,更高分辨率的变倍镜头。

最大兼容Φ44像圈兼容更大靶面相机,扩展更大视野范围
最高倍率分辨率达1μmΦ44靶面相机下可实现高精度成像
NA值提升至0.32提升进光量与边缘、中心画质表现
最大变倍比可扩展至192:1非连续变倍,覆盖常规检测倍率
SR超分辨率变倍系列光学结构示意图
Φ44最大兼容像圈
1μm最高倍率理论分辨率
0.32最大NA值
192:1最大扩展变倍比

更高分辨率

SR超分辨率变倍系列提供更高分辨率,无论是视场边缘区域还是中心区域,都能提供高质量图像,为定位、识别、测量、检测等项目提供更精准的视觉成像效果。

传统4K变倍、SR超分辨率变倍、普通12:1变倍的分辨率板测试效果对比
分辨率板测试效果图
传统4K变倍2/3英寸相机最大倍率下,分辨率约2.8μm,对比度稍差。
SR超分辨率变倍系列2/3英寸相机最大倍率下,分辨率约2.1μm,对比度相应提升。
Mvotem 12:1普通变倍2/3英寸相机最大倍率下,分辨率约3.0μm,过渡像素较多。

更大变倍比

在主体变倍范围0.6X-7.2X基础上,经过不同物镜、镜管组合,最大变倍比可达到192:1(非连续变倍);最小倍率可至0.15X,最大倍率达到28.8X,覆盖检测使用的常规倍率。

传统4K变倍、SR超分辨率变倍、普通12:1变倍的倍率范围对比
不同变倍方案的倍率范围与最大变倍比对比

更高兼容靶面,更大视野范围

对传感器最大可兼容至Φ44,同时兼容各种模块化产品组合拓展使用。相比普通12:1变倍镜头,SR超分辨率变倍镜头可以覆盖更大像圈,获得更大视野。

普通12:1变倍镜头与SR超分辨率变倍镜头兼容像圈对比
普通12:1变倍镜头与SR超分辨率变倍镜头的兼容像圈对比
普通12:1变倍,1英寸相机0.6倍实测视野
普通12:1变倍,1英寸相机0.6倍实测视野
使用M58接口φ22靶面CCD相机,0.6倍实测视野
使用M58接口φ22靶面CCD相机,0.6倍实测视野

更大NA值

优秀的设计为SR超分辨率变倍系列的光学附件带来跨越式NA值提升,最大NA值提升至0.32。更大的NA值有助于提升镜头进光量、分辨率与成像效果。

1倍标准物镜NA值提升至0.16对比图
1倍标准物镜NA值提升至0.16,可与显微镜物镜媲美
2倍标准物镜NA值提升至0.32对比图
2倍标准物镜NA值提升至0.32,建立新一代光学技术标准

更长工作距离

工作距离最大扩展至180mm。长工作距离下依然保持高分辨率成像,为高精密度检测提供更大的工作空间,也便于机械臂等工程器件参与检测。

普通镜头与长工作距离SR超分辨率镜头对比
在保持高NA的前提下,可将工作距离延长至180mm

参数表

以下参数按物镜、镜管、工作距离、倍率、分辨率、景深及不同靶面视野范围整理,便于网站检索和客户选型。

物镜工作距离
mm
项目0.5X 镜管1.0X 镜管2.0X 镜管
最低倍最高倍最低倍最高倍最低倍最高倍
0.5X 180 NA 0.013 0.08 0.013 0.08 0.013 0.08
倍率(X)* 0.15 1.8 0.3 3.6 0.6 7.2
分辨率(μm)* 25.81 4.2 25.8 4.2 25.8 4.2
景深(μm) 20512.82 277.78 10256.41 138.89 5128.21 69.44
视野Φ6 40.0 3.3 20.0 1.7 10.0 0.8
视野Φ8 53.3 4.4 26.7 2.2 13.3 1.1
视野Φ11 73.3 6.1 36.7 3.1 18.3 1.5
视野Φ16 - - 53.3 4.4 26.7 2.2
视野Φ22 - - 73.3 6.1 36.7 3.1
视野Φ44 - - - - 73.3 6.1
1.0X 90 NA 0.026 0.16 0.026 0.16 0.026 0.16
倍率(X)* 0.3 3.6 0.6 7.2 1.2 14.4
分辨率(μm)* 12.9 2.1 12.9 2.1 12.9 2.1
景深(μm) 5128.21 69.44 2564.10 34.72 1282.05 17.36
视野Φ6 20.0 1.7 10.0 0.8 5.0 0.4
视野Φ8 26.7 2.2 13.3 1.1 6.7 0.6
视野Φ11 36.7 3.1 18.3 1.5 9.2 0.8
视野Φ16 - - 26.7 2.2 13.3 1.1
视野Φ22 - - 36.7 3.1 18.3 1.5
视野Φ44 - - - - 36.7 3.1
2.0X 40 NA 0.052 0.32 0.052 0.32 0.052 0.32
倍率(X)* 0.6 7.2 1.2 14.4 2.4 28.8
分辨率(μm)* 6.5 1.0 6.5 1.0 6.5 1.0
景深(μm) 1282.05 17.36 641.03 8.68 320.51 4.34
视野Φ6 10.0 0.8 5.0 0.4 2.5 0.2
视野Φ8 13.3 1.1 6.7 0.6 3.3 0.3
视野Φ11 18.3 1.5 9.2 0.8 4.6 0.4
视野Φ16 - - 13.3 1.1 6.7 0.6
视野Φ22 - - 18.3 1.5 9.2 0.8
视野Φ44 - - - - 18.3 1.5
* 分辨率是指在波长为550nm时的理论分辨率。
* 景深是以成像面允许的错乱圆为40μm时的计算值。
* 放大倍率会存在±5%以内的误差。
* 工作距离会存在±5%以内的误差。

光学架构图

慕藤光SR超分辨率变倍系列提供模块化组件,安装简洁,可完成个性化光学系统定制。

SR超分辨率变倍系列光学架构图
C-mount、M58、后置镜管、主体镜头、物镜及专用同轴照明模块组合示意
SR系列大靶面长焦变倍显微镜
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