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线激光对焦传感器(MLAF-7V) 是一款自动对焦、跟焦传感器,基于光学原理快速获取反馈信号,可对多种无限远校正显微系统精准对焦。传感器可以确定聚焦方向、测量***对焦距离,信号经处理后控制 Z 轴驱动器移动样品至***位置,与电机驱动系统等组成完整自动对焦系统。
线激光对焦传感器(MLAF-7V) 是一款自动对焦、跟焦传感器,基于光学原理快速获取反馈信号,可对多种无限远校正显微系统精准对焦。传感器可以确定聚焦方向、测量***对焦距离,信号经处理后控制 Z 轴驱动器移动样品至***位置,与电机驱动系统等组成完整自动对焦系统。
线激光对焦传感器(MLAF-7V)是一款自动对焦、跟焦传感器,基于光学原理快速获取反馈信号,可对多种无限远校正显微系统精准对焦。传感器可以确定聚焦方向、测量最佳对焦距离,信号经处理后控制 Z 轴驱动器移动样品至最佳位置,与电机驱动系统等组成完整自动对焦系统。
实时跟焦响应时间小于 100ms,高速运动中实时保持高对焦清晰度,视野中心与焦点同轴无偏移。
可设置为 1 段模式、3 段模式、7 段模式,分段式测量可标记更大的焦点范围,解决以往单点对焦过程中遇到坑洼状况时不能对焦的场景。
重复性对焦精度可达 1/4 物镜景深,20X 物镜下,单次重复性精度误差在 +/-0.5um,对焦稳定性优异,重复性精度高。
全面覆盖不同反射率的表面和不同表面结构。针对材质差异导致的光学反射率变化,线激光可在各类反射条件下均自动调节实现光学对焦;同时针对表面存在沟槽、高低差等复杂结构特征的对象,激光对焦可有效克服因表面形态差异造成的对焦障碍。
| 光学参数 | |
|---|---|
| 产品名称 | 第三代线激光对焦传感器 |
| 产品型号 | MLAF-7V |
| 结构光类型 | 线激光 |
| 波长范围 | 660nm |
| 785nm | |
| 850nm | |
| 激光功率 | <10mW |
| 耦合滤光片 | 陷波滤光片 |
| 传感器到物镜后焦间隔距离 | 200mm |
| 支持物镜倍率 | 2X |
| 5X | |
| 10X | |
| 20X | |
| 50X | |
| 100X | |
| 电气参数 | |
| 供电 | DC24V / 3A |
| 通讯方式 | 以太网(1000Mbps) |
| Z 轴控制方式输出① | 方向、脉冲信号 |
| Z 轴控制方式输出② | 模拟电压信号输出 0-10V |
| Z 轴支持类型 | 步进电机 Z 轴、伺服电机 Z 轴、压电陶瓷 |
| 外部触发输入电平 | 5-24V |
| 机械结构参数 | |
| 外观尺寸 | 141.5*52*52mm |
| 自身重量 | 500g |
| 外观材质、涂装、表面处理 | 铝材阳极哑黑氧化 |
| 不同倍率物镜下对焦性能参数 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 物镜倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X |
| 物镜 NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.70 |
| 物镜景深 DOF(μm) | 91 | 14 | 3.5 | 1.6 | 0.9 | 0.6 |
| 线性范围(μm) | ±4000 | ±1000 | ±800 | ±300 | ±140 | ±20 |
| 对焦范围(μm) | >±6500 | >±6500 | ±6000 | ±3500 | ±850 | ±50 |
| 对焦时间(ms) | 81 | 122 | 156 | 190 | 220 | 200 |
| 对焦精度(μm) | <1/4DOF | <1/4DOF | <1/4DOF | <1/4DOF | <1/4DOF | <1/3DOF |
| 对焦重复性精度(μm) | 7.64 | 2.15 | 1.09 | 0.71 | 0.50 | 0.25 |
*1. 2X-50X 对焦时间以离焦 100um 距离进行测试,100X 对焦时间以离焦距离 20um 进行测试
*2. 对焦重复性采用 3σ 法则进行测试

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